オートリフィルキャビネット
ジー・キューブが設計・製作するオートリフィルキャビネットは、オート機能、残量検知機能など各種機能を標準化。コストパフォーマンスにも優れた製品です。

ソフトウェア

オート機能 オートパージ、オートリークチェックが可能
残量検知機能 マザータンクとリフィルタンクの圧力をモニタリング
自己診断機能 オート動作毎に警報チェックを実施
ガイダンス機能 操作全般をガイダンス表示でエスコート
外部入出力機能 キャビネット情報を外部へ出力可能
※これらはソフトウェアの一部です。各機能の詳細、オプションについては、
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半導体産業向けパーツ販売を取り扱っております。各種メーカーお問い合わせください。

最適なパーツリプレイスメントをご提案させていただきます。

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除害カラム再生
排ガス処理装置に付帯する除害カラムの再生について、ジー・キューブは

@プロセスに適合した触媒の最適化

Aライフタイムの最適化

を踏まえてコストダウンをご提案いたします。


触媒がガスを処理する際のメカニズム、ガス処理能力等最適化されないまま使用を続けると、カラムの触媒消費にムラが発生します。

これらの無駄を省き、貴社の効率化、コストダウンに貢献します。

除害カラム再生ライン: 100 m2 (処理能力:300 Cal./)

・半導体製造装置用の特殊ガス除害吸着筒メンテナンス

・半導体製造装置用の特殊ガス用フィルターユニットメンテナンス

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半導体工場向け各種配管製作、配管施工
クリーンルーム内での特殊ガス配管施工

クリーンルーム内での真空配管施工

最新溶接機器と豊富な技術で配管溶接、施工を行います。

半導体工場向け配管検査・加工
排気配管コーティング

ガス供給配管ステンレスコーティングなど各種配管加工

各種配管検査

確かな技術でお応えいたします。

詳しくはお問い合わせください


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